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籽晶转速对TSSG法生长大尺寸SiC单晶的影响
Effects of Seed Crystal Rotation Speed on Growth of Large-sized SiC Single Crystal by TSSG
- “介绍了其在4H-SiC晶体生长领域的研究进展,专家通过调整籽晶转速优化溶液流动状态和温度分布,为提高大尺寸晶体生长速度提供解决方案。”
- 2026年46卷第2期 页码:161-166
收稿:2025-04-10,
修回:2025-05-10,
录用:2025-05-12,
纸质出版:2026-02-20
DOI: 10.15980/j.tzzz.T20250156
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